釕靶材廢料含A185%、Ru 12%及少量Fe、Mg、Si。從這種廢料中生產(chǎn)三氯化釕或純金屬靶材釕粉的工藝流程。關(guān)鍵技術(shù)及工藝特點(diǎn):

(1)利用廢料本身的活化劑，調(diào)整Al、Ru比活化熔煉，酸溶Al后制備的釕黑粉末氧化蒸餾，因活性很強(qiáng)，可縮短蒸餾時(shí)間提高一次蒸餾放率。

(2)可同時(shí)生產(chǎn)釘粉和三氯化釘，根據(jù)需求調(diào)節(jié)產(chǎn)品比例。吸收液濃縮為水合三氯化釕，控制洗液用量，可使-次蒸餾吸收和制取的水合三氯化釘產(chǎn)品達(dá)到國家石化標(biāo)準(zhǔn)II 型--HG/T 3679- 2000( II )的要求，含(%)Ru 37.23、Fe0.001Na0.08、Ca0.000、Mg0.000、Cu0.00，釘回收奉大于96%。